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密封---防止大氣進入排氣閥，有相對運動零件間的間隙密封（轉子與定子、旋片與轉子槽等）；
潤滑---相對運動件間的潤滑，降低磨損；
冷卻---油在泵內與油箱間循環，散熱、冷卻；
攜裹---將磨損產生的塵粒或其它顆粒挾裹在油中，減小磨損傷害；
保護---形成保護性油膜，避免水及化學蒸汽凝結物腐蝕泵內部件。

（1）裝油的窗口必須清潔干凈,嚴禁在陽光下曝曬和露天存放，要存放在陰暗、干燥和通風的地方。
（2）不同牌號、品種的真空泵油不能混用，新舊油品不能混用。不能混入輕質油品，否則將會影響真空性能。
（3）換油時應將泵體內使用過的油品排盡，將新油倒入后緩緩轉動泵軸，清掃泵腔排盡殘油，重復清洗數次，等洗凈后換入新油。
（4）加油用具必須有是專用設備，不應是盛過其它油品或溶劑的容器。
（5）真空泵油如吸入化學氣體及溶劑，對泵油污染影響真空后，則必須作清洗換油處理。
（6）當泵油真空下跌，滿足不了需要時必需換油；當泵油顏色變深，呈褐色時，均應當換油。