真空系統。是由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統。目前，該系統廣泛應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。

通常前級泵又兼作予真空抽氣泵。被抽容器到予抽泵之間的管路稱為予真空管路，該管路上的閥門稱為予真空管道閥。主泵出口到前級泵入口之間的管路稱為前級管道，該管路上的閥門稱為前級管道閥，而軟連接管道是為了隔離前級泵的振動而設置的。

    總起來說，一個較完善的真空系統由下列元件組成：

    1．抽氣設備：例如各種真空泵；

    2．真空閥門；

    3．連接管道；

    4．真空測量裝置：例如真空壓力表、各種規管；

    5．其它元件：例如捕集器、除塵器、真空繼電器規頭、儲氣罐等。

    那么，究竟什么是真空系統?用一句話來概括，就是：用來獲得有特定要求的真空度的抽氣系統。

    真空系統設計的基本內容：是根據被抽容器對真空度的要求，選擇適當的真空系統設計方案，進行選、配泵計算；確定導管、閥門、捕集器、真空測量元件等，進行合理配置，最后劃出真空系統裝配圖和零部件圖。